作為一種新型的氣體污染物處理技術和設備，低溫等離子體工業廢氣處理廠家技術是一項集物理、化學、生物、環境科學于一體的交叉集成電子化學技術，由于其具有易于污染物分子分解、處理能耗低等特點，是國內外具有發展前景和應用前景的大氣污染控制技術之一。該技術應用廣泛，推廣前景廣闊，為VOC有機廢氣、工業惡臭氣體的治理提供了新的思路。
1、主要采用脈沖高頻高壓等離子電源和雙介體齒板放電裝置，端放電方式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集物質，它的高能電子能夠在數毫秒內瞬間穿透空氣和排出的分子，引起一系列的分化和裂化反應，產生高度集中、高強度、高能量的活化自由度。堿類與各種電子、離子等與機械廢氣中的分子發生一系列物理和化學反應，在反應過程中產生各種活性自由基和生態氧，即臭氧由原子氧產生。
2.活動性自由基能有效破壞各種病毒和細菌的核酸和蛋白質，使其無法進行正常的新陳代謝和生物合成，從而導致其死亡；在血漿中，生態氧能迅速含有大量有機廢氣分子。高能量的電子，正、負離子，激發態的粒子，以及具有強氧化性的后型自由基。這種活性顆粒與一些廢氣分子碰撞，同時產生大量的OH、HO2、O等活性自由基和較強氧化O3，能與有害氣體分子發生化學反應，生成無害的產物。
